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Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計（亦稱電容式膜片真空計 (CDG)），適合在光伏、半導體和工業市場中測量對過程控制至關重要的低真空范圍。該產品讀數精度達±0.5%，分辨率高，優于同類產品。730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半導體加工過程中的腐蝕性介質。由于采用直接測量設計，它能精確測量介質，不受應用中氣體混合物成分的影響。
適合苛刻應用的高性能產品
采用單膜片可變電容感應元件，適用于苛刻的半導體和工業真空應用。它具有讀數精度和分辨率高、動態范圍寬的特點，使之成為關鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel® 設計保證通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料， 因此對半導體和工業真空過程中的腐蝕性介質具有極高的耐受性。
Inconel®材料結合全焊接結構， 確保730型在這類應用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業電容式壓力計不同，730型測量直接壓力， 不受被測混合氣的影響，這使其精度優于間接測量型壓力計。
應用
·半導體處理室
·石化
·等離子體滅菌器
·真空包裝
規格
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性能參數 |
物理參數 |
電氣參數(電壓) |
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精度1 |
±0.5%讀數 ±0.25%讀數(可選) |
壓力接口 |
參見訂購信息 |
激勵輸出4 |
12-30VDC/0-10VDC 9-30VDC/0-5VDC |
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響應時間 |
﹤20MS |
接液材料 |
Lnconel@ |
電流消耗 |
﹤10mA(最大值) |
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分辨率 |
無限，僅受輸出噪聲的 限制(≤0.005%FS) |
電氣連接 |
5針螺釘端子、9針D-Sub或15 針D-Sub接頭(位于6*尾纖上) |
輸出負載 |
﹥10KΩ |
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溫度影響2 |
殼體 |
不銹鋼 |
輸出阻抗 |
﹤1Ω |
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補償范圍 |
0～+50℃ |
腔室體積 |
﹤6.0cc |
電路 |
3線制 |
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零點漂移 |
0.25%FS/50℃ |
重量(近似值) |
﹤250g |
壓力介質 |
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量程漂移 |
1.35%讀數/50℃ |
環境參數 |
與lnoonel@兼容的氣體或液體。lnoonel@接液材料僅適用于0.5*管道選項。其他接頭選項會添加不銹鋼。 |
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長期溫度性3 |
0.5%FS/1年,不受環境條件影響 |
溫度 |
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工作溫度 |
0至+80℃ |
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認證 |
1.包括非線性、非重復性盒遲滯 3.在80℃下運行時,滿量程范圍小于100Torr 2.產品在66℉進行標定,最大溫 時為±1.0%FS/年 度影響誤差由此數據得來 4.采用50KΩ負載進行標定。可在負載≥5KΩ時工作 |
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CE.RoHS |
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班奈自動化儀表（上海）有限公司
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